SLQ-QT105 新!光阻流量計
量身定制的一體化塗層系統，新的SLQ – QT105是半導體級的傳感器解決方案應用於流速低於120毫升/分的烴類液體如光阻和溶劑。SENSIRION 經過驗證的熱微傳感器技術，它會打開新的靈敏度，可靠性和速度的視野。迅速的響應時間 SLQ – QT105可以準確監測高動態過程，如快速的光阻噴塗。這個可靠的傳感器配有4x3mm PFA管的接頭，以無任何移動部件，非侵入性及直流路方式做監測。配有智能數位界面和強大的RS485通信界面，提供長途和Bus相容性。
產品特徵
n 流速低於 120毫升/分
n 無任何移動部件及直流路方式監測
n 極低流速和極高的靈敏度
n 潔淨度保證
n 快速響應時間低至30ms
n 傑出的耐化學性，惰性材料
n RS485 數位通信界面
n 材質：PCTFE，石英玻璃
n 應用於光阻和溶劑
應用領域
n 高端半導體製程控制
n 光阻塗佈