Pusher up/down Pressure Monitor System
機台:Ebara FREX300SII
應用:
Ebara CMP機台Pusher因長期up/down作動,造成其下方供應air cylinder氣體管路磨破,可能致使up/down異常,晶片被刮傷或撞破。但藉由外加Pressure Sensor監測管路的壓力,便可以早期監測到管路是否破損以預防產品報廢或yield suffer。 如下圖,以T型接頭將提供air cylinder up/down 的air pressure以壓力sensor長期監測。
系統架構圖: