Chiller water Flow and Temp Detection

 

機台 : AMAT DPS

前言 :

AMAT DPS metal 機台的chiller 對液體流量以及溫度是很重要的指標，而機台在當初設計的時候沒有這兩個重要的指標數位化，當 chiller 流量及溫度跑掉不能即時知道造成大量wafer 報廢的風險。

利用MSD接四組Sensor，監測四個chiller的液體流量以及溫度，如有異常，即利用MSD發報警報或停止機台。

系統架構圖：