2014-02-08 by GUTC Admin in AMAT DPS Chiller water Flow and Temp Detection 機台 : AMAT DPS 前言 : AMAT DPS metal 機台的chiller 對液體流量以及溫度是很重要的指標,而機台在當初設計的時候沒有這兩個重要的指標數位化,當 chiller 流量及溫度跑掉不能即時知道造成大量wafer 報廢的風險。 利用MSD接四組Sensor,監測四個chiller的液體流量以及溫度,如有異常,即利用MSD發報警報或停止機台。 系統架構圖: 0 Recommend Share AMAT DPS flow sensor MSD Temperature sensor Tagged in