';
Hot Plate Temperature Monitoring System
09 12 月 2013
Chiller water Flow and Temp Detection
08 2 月 2014
2014-01-04 by in Lam

壓差偵測系統

 

techdata_7

機台：Lam

lam

 

 

 

 

 

 

 

techdata_4

應用：防止particle FUN 停止轉動造成；particle issue發生而影響wafer。

msd-8

 

 

 

 

 

 

 

系統架構圖：

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