Hot Plate Temperature Monitoring System

 

機台 : DNS

 

 

 

 

 

 

前言 :

因機台無法及時監測hot plate溫度，致wafer斜放於chuck上造成受熱不均時無法及時攔阻。

 

 

 

 

 

 

 

 

利用MSD擷取temperature I/O board signal 與chuck的pins up/down signal，在運用file pass 的資料傳輸方式，將hot plate 溫度上傳至系統監控，達到即時攔阻的功能。

系統架構圖：