2013-10-06 by GUTC Admin in TC sensor ESC (electrostatic chuck) 加裝 TC sensor 機台 : TEL 9600 前言 : 因 ESC之Chiller 溫度無法簡單的Double Confirm(使用人工方式一一檢測,但溫度皆無法一致),導致機台出問題時,無法清楚釐清問題點。 由於ESC下方已有一TC Sensor For 原機台偵測用,故預計於該Sensor附近再加裝MSD TCSensor做為Double Confirm用。 系統架構圖: 0 Recommend Share MSD TC sensor TEL 9600 Tagged in