ESC (electrostatic chuck)

加裝 TC sensor

 

機台 : TEL 9600

前言 :

因 ESC之Chiller 溫度無法簡單的Double Confirm(使用人工方式一一檢測，但溫度皆無法一致)，導致機台出問題時，無法清楚釐清問題點。

 

 

 

 

 

 

由於ESC下方已有一TC Sensor For 原機台偵測用，故預計於該Sensor附近再加裝MSD TCSensor做為Double Confirm用。

系統架構圖：