P.R Dispense value to FDC

 

機台 : TEL Lithius, ACT 8, ACT 12, Mark 8, Mark

 

前言 :因機台無法monitor光阻實際供應噴量，過量或少量會造成不必要的浪費及產品異常，也無法及時發現。

 

 

 

 

 

 

 

利用MSD監測Valves前後管路流量，可發現流量異常、Bubble、pump等異常，即可用監控系統即時攔截。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

系統架構圖：Extra Sensor PDS Structure(Dosing value export)