PCW Temp. Monitor System

 

機台：TEL Track PCH

 

 

 

 

 

 

應用:

PCW Temp. Monitor System 監控溫度過高導致設備alarm產與wafer生產過程中發生產品異常，透過溫度上傳至FDC監控溫度變化。

 

系統架構圖：