MSD MEMS 3 AXIS 振動傳感器

XYZ 3Axis，+/-2000mg，應用於Robot Arm Shift 、Turbo Pump軸偏、機台震動…等，改善各設備異常振動造成的產品良率下降問題。

裝設TurboPump震動監測上系統，用來監測TurboPump運作振動量，以減少製程中產生的各式Wafer因為振動過大產生的不良。

MSD MEMS 3 Axis SPECIFICATION

• Measurement：+/-2000mg
• Axis：X, Y, Z
• Sensitivity：0.01g
• Output Data Rate(Hz) ：50Hz
• Sensor Number：1 CH
• Up/Low Limitation Alarm Setting
• Alarming Buzzer
• Offset Setting
• Zero Setting
• NC/NO Alarm output
• RS-485(Modbus)