Ebara CMP Machine Slurry Flow Monitor

 

機台：Ebara FREX300              

                                             

 

 

應用：Ebara CMP機台沒有Slurry Flow 監測機制，但藉由外加 Slurry Flow Sensor並上FDC後，可監視Flow變化預防產品報廢或yield suffer。

系統架構圖：